無塵室專用伸縮滑軌選型指南：從 ISO Class 4–5 看半導體與 IC 測試機台應用
在半導體與光電製造中，任何微小塵粒或潤滑放氣都可能影響製程精度。Rollon 的 Clean Room System ONE 系列通過 ISO Class 3 潔淨認證，可滿足高精度線性運動需求；而 Telescopic Rail 系列滑軌以低發塵的結構設計，可於無塵環境中提供高剛性的伸縮支撐。兩者分別適用於無塵製程的精密運動模組與設備周邊的伸縮結構，廣泛應用於曝光、蒸鍍、光罩、雷射、測試與控制等相關裝置。
ISO 14644-1 無塵室等級對照表（ISO Class 1–9）
| ISO 等級 | 每立方公尺允許粒子數（≥0.1 μm） | 對應 FED-STD-209E | 典型應用 | 特點 |
|---|---|---|---|---|
| 1–3 | 約10～ 1000 顆 | Class 1 – 100 | EUV 光罩製造、先進封裝 | 超高潔淨度，粒子近零 |
| 4 | ≤ 10000 顆 | Class 100 | 晶圓製程、光學貼合 | 高換氣、高過濾效率 |
| 5 | ≤ 100000 顆 | Class 1000 | 醫療、光電、精密組裝 | 高潔淨標準兼顧維護 |
| 6-9 | ≤ 1000000 ～ 無上限 | Class 10000 – 100000 | 一般加工、包裝線 | 維持低塵即可 |
ROLLON Clean Room System ONE：專為極致無塵室應用設計
Rollon Clean Room System ONE 系列是專為半導體、光電與製藥級設備設計的全封閉線性滑軌系統，通過 ISO Class 3 (DIN EN ISO 14644-1) 認證，能在極嚴苛的無塵環境中長期穩定運行。
| 特性 | 技術說明 |
|---|---|
| ISO Class 3 認證 | 通過 ISO 14644-1 測試，具低放氣與低粒子排放設計 |
| 全封閉結構 | 導軌封閉包覆，防止滾珠摩擦產生微粒 |
| 電解拋光不銹鋼 / 陽極鋁材 | 高抗蝕性，適用清潔與 IPA 擦拭環境 |
| Clean Room Grease 無塵潤滑脂 | 維持潤滑並避免揮發汙染 |
| 客製化行程與尺寸 | 可依設備模組與荷重需求客製 |
| 維護簡易 | 低磨耗、低噪音、長期穩定運作 |
應用範圍涵蓋：
- 晶圓傳送模組（FOUP Load Port）
- 光罩搬運與貼合裝置
- 雷射與曝光平台
- 自動測試設備與抽取治具
此系列除廣泛用於曝光、傳送與貼合平台外，也適用於 IC 測試平台的精密滑台與探針模組定位結構，確保長時間運行的潔淨穩定與定位精度。
Telescopic Rail 系列：半導體與 IC 測試應用特性
Rollon Telescopic Rail 系列除了活躍於 OLED 蒸鍍與雷射平台，也大量應用於 IC 測試設備的抽出與滑出模組（如ATE、Handler、Probe Station、Burn-in Oven）。
這些模組的抽出結構需兼顧重載、剛性、低下垂量與潔淨相容性，而 Rollon 的 DMS、DEF、DBN、ASN 系列能滿足此要求。
實際應用範例
| 模組或設備 | 應用描述 | 採用系列 | 技術亮點 |
|---|---|---|---|
| IC 測試載具抽出平台 | DUT 載具滑出與鎖定定位 | DMS / DEF | 高剛性、低下垂量 (2 × DMS63 承載 2 噸，僅 32 mm 下垂量)；可搭配 Clean Room 無塵油 |
| Probe Head Positioner | 測試探針模組滑動定位 | ONE / ASN | ONE系列封閉結構 / 低震動、高荷重、低發塵 |
| Controller Module Drawer | 控制器、電源模組抽屜維修結構 | DBN / ASN | 鍍鎳 + 不鏽鋼軌，低放氣、節省空間 |
| Burn-in Oven 導引結構 | 高溫測試箱體滑出與對位 | DBN / DSS | 無塑膠件，耐 300 °C 長期運作 |
| Test Alignment Stage | 對位平台或載具對準滑台 | ASN / Compact Rail | 預載結構、平順運動，適合探針與量測平台 |
IC 測試機台滑軌應用延伸
在 IC 測試設備中，滑軌不僅支撐結構，更影響測試精度與維修效率。
從 ATE 機台的 DUT 載具抽出、探針模組定位、控制箱滑出到 burn-in 腔體開合，滑軌需在潔淨環境中保持剛性穩定與低顆粒。
Rollon Telescopic Rail 與 Clean Room System ONE 系列具備：
- 低變形、高剛性結構 - 確保探針接觸穩定
- Clean Room Grease 潤滑 - 減少揮發與顆粒汙染
- 鍍鎳／不鏽鋼表面 - 耐清潔劑與防腐蝕
- 雙向行程／抽出式設計 - 方便維修與治具更換
實際案例：測試腔體與控制模組抽出系統即採用 Rollon 無塵滑軌，證明其高剛性與空間效率能滿足 IC 測試線應用需求。
關鍵技術優勢
| 特性 | 技術亮點 |
|---|---|
| 低變形量 / 高鋼性 | DMS63-1970 雙軌承載 2,000 kg時，下垂量(Deflection)僅 32 mm |
| 高溫耐受性 | 無塑膠結構，可於 250–300 °C 運作 |
| 防蝕表面處理 | 鍍鎳、Rollonaloy 鍍鋅或不銹鋼版本 |
| 潔淨潤滑油 | Clean Room Grease 具低放氣與低微粒 |
| 客製行程 / 雙向滑動 | 適配真空腔體或光罩平台 |
| 高剛性滾柱式滑軌 | 運動平順、震動極低，適合光學製程 |
此外，Rollon 的高剛性滾柱結構與 Clean Room 潤滑方案，能確保 IC 測試設備在長時間抽取與定位動作中保持穩定精度與低微粒釋放。
克普典專業建議
在半導體、光電與 IC 測試設備設計中，滑軌是兼具精密與潔淨的關鍵元件。
- Clean Room System ONE：首選 ISO Class 3 認證滑軌，適用曝光、對位與測試平台
- Telescopic Rail 系列：適合 ATE 與 handler 載具抽出模組
- DMS / DEF / DSD / ASN：對應高剛性與低下垂量的測試載具與控制模組
- DBN / DSS 系列：耐高溫、重載應用如 burn-in chamber 滑動導引
這些方案經無塵室油氣與放氣測試驗證，能長期穩定運作於半導體製程、OLED 蒸鍍、IC 測試與 ATE 載具抽取系統。
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